Qualiflow 類比式氣體流量控制計

D07-09E 採用彈性橡膠祇洩及先進的類比式電子零件，Full Scale 流量最大可達250 slm，可替代多數的標準型ＭＦC。 D07-16A 使用金屬止洩及類比式電路，Full Scale 最低達5 sccm，可使用於高inlet壓力氣體，可替代多數的標準型ＭＦC。 D07-18 / 18A 採用彈性橡膠祇洩及先進的類比式電子零件，可替代多數標準型ＭＦC。 D07-19 / 19A 採用彈性橡膠祇洩及先進的類比式電子零件，提供大範圍的流量控制，可替代多數的標準型ＭＦC。 AFC 50, AFM 55 可用於流量控制10 sccm至30 slm，採用獨特可靠的水平式電磁閥。 AFC 260, AFM 360 專用於高穩定及高可靠度的應用需求，流量控制10 sccm至5 slm。 AFC 261, AFM 361: 採用 AFC260 及AFM360 相同技術，可控制流量10slm 至 20slm。 AFC 202, AFM 302: 此系列為高流量控制之最佳選擇，流量控制從 30slm 至 400slm。 LVC 414: 液體氣化控制器，用於測量及控制carrier gas經過bubbler所含帶的摻質流量。 AFM 10: 流量控制器適用於取代旋轉式流量計，流量控制從 2slm 至 60slm，採用黃銅製做，尺寸小及適合用於真空控制。 AFM 11 可使用於真空控制設備，流量控制從 60slm 至 120slm。接頭採用黃銅製做。